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chiller（半導(dǎo)體溫控機(jī)）在常規(guī)PID控制算法的基礎(chǔ)上加入了預(yù)測控制技術(shù)和自適應(yīng)控制技術(shù)，顯著地提高了chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應(yīng)速度
晶圓倒片機(jī)設(shè)備同時配置高效FFU，采用全封閉結(jié)構(gòu)，具有超潔凈性能，其潔凈度達(dá)Class1，歡迎廣大新老客戶前來咨詢選購！
真空機(jī)械手具有碰撞檢測和自我保護(hù)的功能；模塊化設(shè)計，可以根據(jù)客戶需求定制，具有高兼容性和高拓展性，可滿足對設(shè)備升級的要求。真空機(jī)械手/集成電路設(shè)備
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